一种用于双压电陶瓷作动器的串联装置及其协同控制方法

本发明属于精密驱动与控制技术领域，公开了一种用于双压电陶瓷作动器的串联装置及其协同控制方法。通过双压电陶瓷作动器串联布置，实现了输出位移的有效叠加，较单压电陶瓷作动器获得更大的有效输出位移；建立第一压电陶瓷作动器和第二压电陶瓷作动器的Prandtl‑Ishlinskii迟滞输入输出逆模型，分解目标总输出位移，获取初始第一驱动电压和初始第二驱动电压，改善双压电陶瓷作动器的迟滞非线性行为可能导致的控制误差；利用回弹式位移传感器和激光位移传感器获取双压电陶瓷作动器的实际输出位移，并建立双压电陶瓷作动器位移协同控制结构。该串联装置可准确完成大行程目标输出位移，并实现双压电陶瓷作动器的协同配合。