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定位标识的识别方法、半导体检测系统和存储介质

발명알 수 없음
12청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

袁明波; 杨东; 马砚忠; 陈鲁

출원일

Mar 20, 2026

공개일

Oct 27, 2026

IPC 분류

H10P 74/20 (2026.01)G01B 11/00 (2006.01)G01B 11/24 (2006.01)G01B 11/26 (2006.01)G01R 31/26 (2020.01)G01R 1/04 (2006.01)G01R 1/02 (2006.01)G06T 7/66 (2017.01)G06T 5/50 (2006.01)G06T 7/136 (2017.01)G06V 10/28 (2022.01)G06V 10/44 (2022.01)G06V 10/48 (2022.01)G06V 10/26 (2022.01)H10P 74/00 (2026.01)H10P 72/00 (2026.01)H10P 72/50 (2026.01)

本申请提供一种定位标识的识别方法、半导体检测系统和存储介质,该方法包括获取表征被测物体表面的多帧移相干涉图像;基于多帧移相干涉图像中各对应像素的光强变化信息,生成被测物体的边缘轮廓增强图像并提取基准圆形轮廓作为空间参考系;结合动态阈值分割与几何拟合算法,确定位于被测物体边缘的定位标识的精确中心坐标,并根据其与基准圆形轮廓的几何关系,最终解算出定位标识的方位角,实现了定位标识中心坐标亚像素级精度的识别。

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