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Dossier
가스 분배용 방법 및 장치
InventionPending
2views
§ Ⅰ
Dossier Overview
Applicant
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이.
Inventor
폰두룰리아 카일; 킴티 안키트
Filing Date
Jun 20, 2025
Publication Date
Dec 31, 2025
IPC Classification
C23C 16/455C23C 16/44H1L 21/67
CPC Classification
C23C16/45565C23C16/4412C23C16/45544H1L21/67017H1L21/67069
External Resources