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기록

스퍼터링 타깃

발명patent.status.granted

§ Ⅰ

개요

출원인

특허 출원인 기록

발명자

데라무라 교스케; 히로후지 겐타로

출원일

Jan 16, 2023

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

C23C 14/34H1J 37/34

CPC 분류

C23C14/3414H1J37/3423H1J37/3429H1J37/3491

외부 자료

Google Patents Espacenet