Dossier

반송 장치, 기판 처리 장치, 반송 방법 및 물품 제조 방법

Inventionpatent.status.granted

§ Ⅰ

Dossier Overview

Applicant

Inventor

호사카 다카시

Filing Date

Feb 6, 2023

Publication Date

Dec 31, 2025

IPC Classification

H1L 21/677G3F 7/H1L 21/67H1L 21/68

CPC Classification

H1L21/67742G3F7/2H1L21/67092H1L21/67259H1L21/681

External Resources