Dossier

CMP 성능을 개선하기 위한 플래튼 표면 변형 및 고성능 패드 컨디셔닝

Inventionpatent.status.granted

§ Ⅰ

Dossier Overview

Applicant

Inventor

이, 크리스토퍼 형-균; 아이에르, 아난드 니라칸탄; 트란, 하이옌 캐런; 정, 건봉

Filing Date

Aug 27, 2021

Publication Date

Dec 31, 2025

IPC Classification

B24B 53/B24B 29/4B24B 37/32

CPC Classification

B24B53/5B24B29/4B24B37/32

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