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Dossier
시스 히터 및 이를 갖는 기판 지지 장치
Inventionpatent.status.granted
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§ Ⅰ
Dossier Overview
Applicant
Inventor
키다 나오야; 후타쿠치야 준; 후지노 다이스케; 타니 유키
Filing Date
Feb 9, 2022
Publication Date
Dec 31, 2025
IPC Classification
H5B 3/48H5B 3/12
CPC Classification
H5B3/48H5B3/12H5B3/44
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