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Dossier
수퍼사이클 원자 층 증착에 의한 신규의 비정질 하이-K 금속 산화물 유전체들의 방법들 및 애플리케이션들
Inventionpatent.status.granted
§ Ⅰ
Dossier Overview
Applicant
Inventor
선, 저린; 허, 광 수; 자오, 라이; 최, 수 용
Filing Date
Apr 22, 2021
Publication Date
Dec 31, 2025
IPC Classification
H1L 21/2H10D 30/67H10D 48/H10D 64/66
CPC Classification
H1L21/22H1L21/2164H1L21/2189H1L21/2274H1L21/2304H10D30/314H10D30/6731H10D30/6739
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