Dossier

기판 처리 장치

Inventionpatent.status.granted

§ Ⅰ

Dossier Overview

Applicant

Inventor

크루피쉐브 알렉산더; 샤록 리 에프.; 할리세이 조셉

Filing Date

Feb 7, 2018

Publication Date

Dec 31, 2025

IPC Classification

H1L 21/677B25J 15/6B25J 9/4H1L 21/67H1L 21/687

CPC Classification

H1L21/67742B25J15/616B25J9/42H1L21/67167H1L21/67196H1L21/67259H1L21/68707

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