Back to Search
Dossier
一种多晶硅流化床反应器
InventionActive
8Claims · 1 independent
§ Ⅰ
Dossier Overview
Applicant
江苏山水半导体材料有限公司
Inventor
李仕权; 李星; 向玉芳
IPC Classification
B01J 8/24 (2006.01)C01B 33/035 (2006.01)B01J 8/18 (2006.01)B08B 9/087 (2006.01)
本发明公开了一种多晶硅流化床反应器,本发明涉及多晶硅制造技术领域,包括反应筒,所述反应筒的底端侧壁固定连接有多个支撑柱,多个所述支撑柱的一端均固定连接有底板。本发明能够在需要对颗粒状多晶硅进行反应生产时,利用第一气孔与第二气孔向反应筒内不断吹气,使反应筒内的反应气体在反应筒内四处分散,便于与颗粒状多晶硅之间进行反应,并且能够在反应筒完成工作后,利用检测板对反应筒内壁是否沉积硅进行检测,在检测到反应筒内壁沉积硅的位置后,利用处理板将反应筒内壁沉积硅刮掉,避免工作人员还需要定期对反应器内壁是否沉积硅进行检测,之后再对反应器内壁所沉积的硅进行清理,影响反应器连续运行的时间。
Sign in to read the full text
Claim 1 is shown. Create a free account to read all 8 claims, the full description, all drawings, translations and legal status.
- All claims
- Technical field
- Background
- Summary
- Drawing descriptions
- Detailed description
External Resources