Back to Search
Dossier
一种半导体表面处理的镀层装置
InventionActive
10Claims · 1 independent
§ Ⅰ
Dossier Overview
Inventor
陈鹏
IPC Classification
C23C 14/26 (2006.01)C23C 14/50 (2006.01)
本发明提供一种半导体表面处理的镀层装置,涉及半导体镀层技术领域,包括所述密封箱门滑动连接在镀层箱体的前端;所述导向滑轨设有两个,两个导向滑轨均固定连接在镀层箱体的前端面;所述导向滑槽设有两个,两个导向滑槽均开设在密封箱门的后端面;所述观察窗固定连接在密封箱门的内侧;所述固定把手设有两个,两个固定把手均固定连接在密封箱门的前端面,解决了现有的半导体表面处理镀层装置在使用过程中,通常需要先将晶圆放置于晶圆架中,再通过螺栓将其固定安装在设备顶部,方可进行镀层工艺,操作较为繁琐,装拆步骤耗时较长,增加了人工操作强度,影响了生产效率的问题,显著提高了镀层作业的工作效率,降低了操作人员的劳动强度。
Sign in to read the full text
Claim 1 is shown. Create a free account to read all 10 claims, the full description, all drawings, translations and legal status.
- All claims
- Technical field
- Background
- Summary
- Drawing descriptions
- Detailed description
External Resources