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Dossier
一种堆叠式结构的MEMS气体检测组件和嗅觉传感器
InventionActive
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10Claims · 2 independent
§ Ⅰ
Dossier Overview
Applicant
中科微感（宁波）科技有限公司
Inventor
陈新乐; 林彦臻; 孙铭; 孙雨浩; 夏宇航; 沈文锋
IPC Classification
G01N 27/12 (2006.01)G01N 27/22 (2006.01)G01N 1/22 (2006.01)G01N 1/34 (2006.01)G01N 1/40 (2006.01)G01D 21/02 (2006.01)B01D 53/26 (2006.01)B01D 53/22 (2006.01)B01D 53/04 (2006.01)B01D 53/82 (2006.01)B01D 53/52 (2006.01)B01D 53/40 (2006.01)B01D 46/64 (2022.01)B01D 46/54 (2006.01)
本申请涉及气体检测技术领域，提供了一种堆叠式结构的MEMS气体检测组件和嗅觉传感器，能够解决嗅觉传感器无法小型化、集成度低且不便携的技术问题。气体检测组件包括：多个电路板，多个电路板沿第一方向分布，相邻的两个电路板电连接，多个电路板包括至少一个第一电路板和一个第二电路板；MEMS气体传感器阵列，包括多个MEMS气体敏感元件，MEMS气体敏感元件对目标气体具有交叉敏感性，MEMS气体敏感元件以表面贴装方式集成于第一电路板；微处理器，设于第二电路板，用于采集多个MEMS气体敏感元件的响应信号，并对响应信号进行数据处理和模式识别，以及输出气体浓度数据和识别结果。
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