一种原子层沉积薄膜介电常数的测量系统及方法

本发明涉及一种原子层沉积薄膜介电常数的测量系统及方法，所述测量系统包括原子层沉积单元、设置于所述原子层沉积单元内的电容器单元及衬底单元、测量单元以及计算单元。本发明所要解决的问题是通过设计特定的电容器，将薄膜镀在电容器中，可以间接测量出薄膜材料的介电常数，进而预测薄膜的厚度。