一种可调节耦合效率的多通道跑道微环调制器

本发明公开了一种可调节耦合效率的多通道跑道微环调制器，包括：跑道微环谐振腔，包括直波导段和弯曲段，用于实现光信号的谐振；马赫曾德尔调制结构，与所述微环谐振腔集成，用于调节微环与主干波导的等效耦合系数；其中，所述马赫曾德尔调制结构包括：耦合器、模式转换器和调制臂。所述的调制器还设有加热器。此方案通过马赫曾德尔调制结构对微环谐振腔与主干波导的耦合系数进行调节，克服了微环谐振腔光子寿命对调制速率的限制，打破了带宽与调制效率的制约关系。与已有的微环调制器相比，能够在高品质因子的微环谐振腔中仍然具备高速调制的能力；同时通过对马赫曾德干涉区波导的设计，在不增大器件面积的同时增大了调制区长度。