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Dossier
基于MicroLED转移状态的工作台调整方法、系统及设备
InventionActive
10Claims · 1 independent
§ Ⅰ
Dossier Overview
Inventor
钟志成; 郑昕; 曹艳波; 戴深宇
IPC Classification
H10H 29/03 (2025.01)
本发明涉及芯片晶粒转移技术领域,具体涉及基于MicroLED转移状态的工作台调整方法、系统及设备;获取工作区域的实际尺寸,并根据预设的成像视场要求和实际尺寸对工作区域进行划分,以得到区域划分数据;从区域划分数据中获取得到中间区域;通过纵向移动工作台,并通过成像观测组件采集中间区域的成像数据,以得到成像数据序列;根据预设的图像清晰度评价函数对成像数据序列进行分析,以得到对应关系;根据对应关系确定进入MicroLED转移状态;根据预设的验证条件和MicroLED转移状态对工作台进行调整;划分工作区域以中间区域为基准,预标定匹配最佳状态,分区设计保障采集完整与精度,动态调整修正偏差,提升MicroLED芯片与电极对准精度,助力转移良率提升。
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