一种用于玻璃基板的喷射清洗装置及方法

本发明属于喷射清洗技术领域，公开了一种用于玻璃基板的喷射清洗装置及方法，该装置包括：喷杆和喷嘴，所述喷杆固定安装在玻璃基板的上端，所述喷杆上设置有若干个连接孔，与喷嘴固定连接，所述喷杆与玻璃基板之间的夹角为1030°；在保证清洗力度的同时，避免对玻璃基板造成过度冲击而引发碎裂问题，所述喷嘴内设置有导流腔，导流腔的曲率半径与出口直径的比值大于等于1.1小于等于1.2，有效调节清洗介质在喷嘴内的流动状态，进而优化喷射效果；喷嘴的表面粗糙度0.8μm，减少颗粒在喷嘴表面的附着点，且接触角100°，降低液体在喷嘴表面的附着力，二者相结合，能够显著降低颗粒吸附概率。