制造方法

在无客体硅包合物的制造中提高客体脱离的处理速度。无客体硅包合物的制造方法包括：第一工序，通过对作为成为主体的材料的Si及客体进行热处理来合成硅包合化合物；作为用于使客体从硅包合物脱离的工序的第二工序，在对收容有硅包合物的容器的内部进行了真空抽吸的状态下，对收容于容器的硅包合物进行加热；以及第三工序，在向容器的内部供给惰性气体后，对容器的内部的气体进行吸引。