生长碳化硅晶体的热场装置

本申请公开了生长碳化硅晶体的热场装置，该热场装置包括：发热体，发热体包括籽晶固定件、导流筒和凸度调节件，导流筒和凸度调节件设置在籽晶固定件的下侧，且凸度调节件设置在导流筒的外侧；籽晶固定件朝向碳化硅晶体生长区的一侧设置有碳化硅籽晶；导流筒包括第一导流筒和第二导流筒，第一导流筒为直筒，第二导流筒为向下斜扩的锥形筒；凸度调节件包括第一凸度调节件和第二凸度调节件，第一凸度调节件为直筒，第二凸度调节件为向下收缩的锥形筒。本申请通过热场装置的设计可有效去除碳化硅晶体的生长小面，从而能有效降低碳化硅晶体中的位错聚集的风险，提高碳化硅晶体的品质。