光学元件表面疵病检测方法及装置

本发明提供一种光学元件表面疵病检测方法及装置，该方法包括：获取待测光学元件表面疵病的远场散射光强分布图；将远场散射光强分布图输入预训练U‑Net网络模型中，得到待测光学元件表面疵病对应的表面高度分布灰度图；其中，预训练U‑Net网络模型预先构建了表面高度分布灰度图与远场散射光强分布图一一对应的映射关系；对表面高度分布灰度图进行三维化处理，生成待测光学元件的表面疵病检测结果。本发明有效解决了现有方法均存在的光学元件表面疵病三维信息获取能力不足的问题，能够通过便捷采集实现表面疵病的快速、完整三维重建，有效满足了检测的实际需求。