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一种环形式大口径球面光学元件三维扫描方法和装置
发明专利有效
10权利要求 · 2 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
刘东; 张峰玮; 王泽栋; 王狮凌; 李溪远; 郭骥鹏
IPC 分类
G01N 21/95 (2006.01)G01N 21/01 (2006.01)
本申请提供一种环形式大口径球面光学元件三维扫描方法和装置,属于光学元件扫描技术领域。本申请提供的方法包括:基于大口径曲面光学元件的中心空间位置和扫描子孔径尺寸参数确定大口径曲面光学元件上多个环形扫描区域;遍历每个环形扫描区域,完成大口径曲面光学元件的三维扫描;对于每个环形扫描区域,通过多个子孔径进行扫描,扫描当前环形扫描区域时,基于当前环形扫描区域的位置信息计算当前子孔径的空间坐标,基于空间坐标对当前子孔径进行扫描。本申请提供的环形式大口径球面光学元件三维扫描方法和装置,用以实现光学元件表面的快速全口径扫描。