一种利用精细波谱扫描确定连续X射线背景强度的方法及系统

本发明属于但不限于电子探针测试技术领域，公开了一种利用精细波谱扫描确定连续X射线背景强度的方法及系统；利用电子探针通过波谱扫描得到待测元素的波谱扫描图；在所述待测元素的波谱扫描图的峰的左边选取一段或多段波谱位置，右边选取一段或多段波谱位置；利用电子探针对选取的每一段波谱位置上的连续X射线进行精细波谱扫描，获得每一段波谱位置上连续X射线的强度；以选取的波谱位置为x轴，以测试的每一段波谱位置处的连续X射线的强度为y轴，进行曲线拟合，得到待测元素的背景拟合方程；将待测元素的峰所处的波谱位置代入背景拟合方程，即得到待测元素的背景强度值。本发明能够有效消除背景强度对微量元素的含量的测试结果的影响。