一种基于自动拟合算法由半导体飞行时间（ToF）电流得到迁移率以及陷阱俘获时间和释放时间的方法

本发明公开一种基于自动拟合算法由半导体飞行时间（ToF）电流得到迁移率以及陷阱俘获时间和释放时间的方法，包括以下步骤：读取实验测得的半导体ToF电流数据，并进行预处理；初始化样品参数并设定迁移率及各陷阱俘获时间和释放时间的拟合范围；基于全局优化算法自动拟合ToF电流数据，通过比较拟合电流与实际电流的差异，寻找最优的迁移率、俘获时间和释放时间参数组合；本发明简化分析流程，提高效率以及准确性。