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기록
硅基级联开关延时线控制电压校准方法和系统及其光谱平坦度度量方法和装置
발명유효
11청구항 · 4 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
武秀; 韩守保; 戴泽璟; 童阳; 梅理
IPC 분류
G01R 31/327 (2006.01)G01R 19/00 (2006.01)G01J 3/08 (2006.01)G01J 3/28 (2006.01)
本发明公开了一种硅基级联开关延时线控制电压校准方法和系统及其光谱平坦度度量方法和装置,涉及硅基级联开关延时线控制电压校准领域,包括:将预设波长范围的光源注入硅基级联开关延时线;获取硅基级联开关延时线输出的光的光谱功率谱数据;根据光谱功率谱数据计算得到基于光谱功率谱数据的频域均匀性和时域平滑度的光谱平坦度。本发明结合频域均匀性和时域平滑度来全面评估硅基级联开关延时线输出的光的光谱平坦度,鲁棒性强,精度高,有利于提高后续的电压校准的精度。