一种同轴激光共聚焦加工测量一体化系统及其在位形貌测量方法

本发明公开了一种同轴激光共聚焦加工测量一体化系统及其在位形貌测量方法，属于超快激光精密加工技术与在位测量技术领域。系统包括激光共聚焦形貌测量模块、超快激光扫描加工模块、CCD显微成像模块、分束棱镜、低通二向色镜、长工作距离消色差激光加工物镜和组合式三轴精密位移台；激光共聚焦形貌测量模块产生测量光束，实现样品的形貌测量；超快激光扫描加工模块产生加工光束对样品表面进行扫描加工；CCD显微成像模块产生照明光束，实现加工位置照明和样品表面的图像信息的获取；本发明测量光束、加工光束、照明光束经过低通二向色镜形成同轴光束，通过长工作距离消色差激光加工物镜聚焦于样品表面的同一位置，实现同轴在位测量条件。