铌酸锂微纳结构表面稀土掺杂二维材料的原位集成方法

本发明涉及集成光子学与二维材料器件制造技术领域，尤其涉及一种铌酸锂微纳结构表面稀土掺杂二维材料的原位集成方法。包括：对铌酸锂微纳结构基底进行预处理；采用高真空磁控溅射沉积亚纳米金属层，亚纳米金属层厚度小于1nm；在200~250℃惰性气氛下低温退火，形成纳米锚定层；在纳米锚定层表面沉积主金属膜，并引入稀土掺杂元素；通过400~500℃低温预反应构建预反应层；再通过700~850℃高温结晶，完成主金属膜向晶态二维过渡金属硫族化合物的转化，并固化稀土发光中心与结构包覆。优点在于：实现铌酸锂微纳结构低损伤原位集成，稀土掺杂均匀可控，二维材料结晶优良；可高效制备高性能近红外发光异质结器件。