一种高性能铜基金属复合焊片及其制备方法

本发明公开了一种高性能铜基金属复合焊片及其制备方法，属于电子制造技术领域，一种高性能铜基金属复合焊片的制备方法，包括以下步骤：对三维多孔骨架铜片进行超声酸洗，再将其浸入电镀液中进行电化学沉积，形成铜基复合金属片；然后依次进行浸洗、干燥和压片处理制备得到所述高性能铜基金属复合焊片。本发明提出的铜基复合焊片制备方法可充分利用三维多孔骨架的界面特性显著缩短瞬时液相反应路径，实现金属间化合物的快速均匀生成，有效避免互连界面产生的柯肯达尔孔洞和局部应力集中问题，大幅提升功率器件互连界面的高温服役可靠性。