源料蒸发沉积过程模拟方法、装置、电子设备及存储介质

本申请属于分子束外延的技术领域，公开了一种源料蒸发沉积过程模拟方法、装置、电子设备及存储介质，该方法包括：获取源炉的构造信息，以构建内部含有源料模型的源炉模型，设置源料模型的材料参数，根据源料蒸发时的分子蒸发流动特征和源炉的旋转特征，为源炉模型添加分子流模块和动网格模块，并设置对应的模块条件参数，基于分子流模块、动网格模块、模块条件参数和材料参数，对内部含有源料模型的源炉模型进行源料蒸发沉积过程模拟，使高温下的源料模型从液面开始蒸发以沉积在源炉模型的衬底表面，得到源料蒸发沉积模拟结果；通过上述方法，提高了源料蒸发沉积过程的参数优化效率。