一种基于长短期记忆神经网络的MEMS器件动态特性宏模型建模方法

本发明提出了一种基于长短期记忆神经网络的MEMS器件动态特性宏模型建模方法。该方法通过对MEMS器件进行瞬态分析，并将瞬态输入信号和瞬态输出信号结合特征参数数据作为数据集训练构建长短期记忆神经网络，之后，提取神经网络部分超参数通过硬件描述语言Verilog‑A描述封装，实现MEMS器件动态特性宏模型构建，最后，将Verilog‑A封装的完整传感器宏模型，导入到IC仿真工具Cadence Virtuoso中进行系统级MEMS‑IC协同仿真。本发明以MEMS热式流量传感器宏模型建模过程为例，介绍整个MEMS器件宏模型建模方法，其他类型MEMS器件也可进行相同的分析建模。