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기록
基于强化学习的自主生成半导体工艺系统工艺配方的方法
발명유효
20청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
출원인
启迪原子私人有限公司
발명자
潘阳
IPC 분류
G06F 30/27 (2020.01)G06F 30/28 (2020.01)G06N 3/047 (2023.01)G06N 3/048 (2023.01)G06N 3/0499 (2023.01)G06N 3/092 (2023.01)G06F 30/25 (2020.01)G06N 3/044 (2023.01)G06F 113/08 (2020.01)G06F 119/14 (2020.01)
本发明公开了一种基于强化学习的自主生成半导体工艺系统工艺配方的方法和系统。所述系统包含一个全面的数字孪生体，涵盖各子系统数字孪生体、腔室等离子体数字孪生体和工艺数字孪生体，并采用神经网络模型提升效率。通过将策略神经网络与MCTS相结合，所述系统可以自主实现工艺配方中的优化权衡。