一种基于半导体晶锭旋转自动化定位装置

本申请实施例提供一种基于半导体晶锭旋转自动化定位装置，涉及半导体晶锭加工设备技术领域，其包括机架，机架两侧设有第一直线导轨和第二直线导轨，第一直线导轨和第二直线导轨上滑动设置有第一平台，第一平台上设有第一驱动件，第一平台上转动设置有第二平台，第二平台与第一平台之间设有减震机构，第一平台上还设有第二驱动件，第二平台上设有固定机构和托架，托架设置在第二平台中间，固定机构包括夹紧组件和锁止组件，第一平台靠近第二平台转动处设有激光位移传感器和三个第一接近开关，托架中间设有第二接近开关。本申请具有定位精度提升和降低晶锭损伤率的效果。