复合薄膜制备装置及其制备方法

本公开实施例提供了一种复合薄膜制备装置及其制备方法，其中，复合薄膜制备装置包括：反应腔室，包括环状侧壁以及位于环状侧壁相对两端的顶部和底部；承载装置，位于反应腔室内，承载装置的顶面用于承载基底结构；旋转装置，位于反应腔室内且与承载装置的底面固定连接，旋转装置能够带动承载装置相对于反应腔室转动；隔离装置，位于反应腔室内且位于承载装置的相对两侧中远离旋转装置的一侧；隔离装置将承载装置远离旋转装置的一侧区域分隔成多个独立的沉积区域；其中，通过在不同的沉积区域中设置不同的反应源，并通过控制旋转装置带动基底结构转动，以在基底结构的表面沉积多层交替堆叠的复合薄膜。