一种确定碳化硅外延炉气浮托盘稳定旋转的方法

本发明公开了一种确定碳化硅外延炉气浮托盘稳定旋转的方法，属于碳化硅外延技术领域，包括：根据外延材料测试结果，选取掺杂浓度和厚度均匀的外延片对应的气浮组合作为标准组合；其进气端外接惰性气体并逐步升压，记录气浮托盘稳定旋转至预设转速时的转速和对应压力，分别作为标准转速和标准压力；对待检气浮组合通入相同惰性气体并将进气压力快速提高至标准压力，观察其气浮托盘能否在标准转速允许偏差范围内稳定旋转；若能，则判定安装合格，可正常投入外延生长；若不能，则检修易漏点后重新测试。该方法在开腔环境下即可判断工艺状态下气浮托盘的旋转情况，无需改动现有设备与工艺，操作简便，与主流碳化硅外延炉兼容，适于工业化推广应用。