一种石英舟的饱和工艺

本申请涉及太阳电池领域，公开一种石英舟的饱和工艺。饱和工艺包括以下步骤：向放置有石英舟的工艺管中通入载气，进行预处理，温度为800℃～950℃；向放置有石英舟的工艺管中通入混合气体，进行除杂处理，其中，混合气体包括氧气和含氯元素的掺杂气源，掺杂气源和氧气的流量比小于或者等于1:3，掺杂气源用于与氧气反应生成氯气和掺杂物质；向放置有石英舟的工艺管中通入氧气，进行氧化处理，氧化处理的温度高于预处理的温度。采用该饱和工艺较高程度的提高石英舟的饱和效果，提高石英舟的清洁度，从而有助于提高太阳电池的良率和效率。