兼顾灵敏度与量程的蛇形微结构电容传感器及其制备方法

本发明提供一种兼顾灵敏度与量程的蛇形微结构电容传感器及其制备方法，包括自上而下依次层叠的上保护层、上电极层、蛇形微结构层、下电极层和下保护层；所述蛇形微结构层包括若干个周期性弯曲的绝缘弹性体单元。本发明蛇形微结构电容传感器通过蛇形结构的独特变形特性，能够在低压阶段实现高灵敏度，而在高压阶段通过蛇形结构的接触进一步增加承载力，从而显著拓宽传感器的量程，同时提出了可调控的数学模型，使其性能可以根据应用场景进行定制拓展，能够充分满足不同应用场景下的精度需求。