一种基于声表面波约束的纳米孔晶体管生物分子传感器及其制备方法

本发明公开了一种基于声表面波约束的纳米孔晶体管生物分子传感器及其制备方法。所述传感器包括依次层叠设置的衬底、氮化硅薄膜层、检测层，覆盖检测层的第一钝化层，设置在第一钝化层上的声表面波激发结构，覆盖声表面波激发结构的第二钝化层，贯穿传感器的纳米孔，以及覆盖纳米孔内周表面的亲水栅介质氧化层。所述表面波激发结构用于激发聚焦在纳米孔中对生物分子产生阻滞效应的声表面波，包括压电薄膜，以及设置在压电薄膜上的叉指电极层。本发明通过声表面波的声流效应与晶体管的电荷感应，以及纳米孔的限域效应，无需修饰特异性生物捕获层即可实现多种生物分子的广谱检测。