一种基于光悬浮谐振子的角速度测量装置

本发明公开了一种基于光悬浮谐振子的角速度测量装置，属于惯性测量技术及光镊技术领域，包括共轴依次设置的成像相机、第一带通滤光片、第一非偏振分光棱镜、第一物镜、第二物镜和同轴光源；第一物镜和第二物镜均安装于真空腔中且共焦；捕获激光出射方向垂直于重力方向，捕获激光出射方向与z轴交点处安装有第一二向色镜；调制激光出射方向为x轴正方向且与z轴共面；第一非偏振分光棱镜的中心设置于z轴与调制激光入射方向的交点处；还包括设置于同轴光源和真空腔之间的第二二向色镜和依次设置于第二二向色镜的x轴负方向的第二带通滤光片和四象限探测器。本发明实现了光悬浮谐振子的高真空环境捕获及角速度测量。