一种定位载台

本发明公开了一种定位载台，包括基板，基板上设有中心孔，位于中心孔外周的基板上设有多个吸附结构，位于吸附结构外围的基板上设有呈直角分布的定位轮，与定位轮相对的基板上设有呈直角分布的驱动机构；基板上还设有多个与中心孔连通的容纳槽，每个容纳槽内均设有平面校准机构。实现了对光刻板定位和晶圆所在位置平行度调整的集成，且对光刻板的定位速度快、精度高；同时，有效保证了晶圆和光刻板的平行度，为高质量的进行曝光、光刻等工艺奠定了基础；而且，布置紧凑、集成度高，体积小。