半导体制造中基于工作流引擎的数据处理方法及系统

本发明公开了一种半导体制造中基于工作流引擎的数据处理系统及方法。该系统通过请求接收模块、活动处理模块、规则调度模块、工作规则执行模块、规则应答模块、站点变更模块和控制模块的协同工作。所述方法包括：接收包含数据对象标识符和操作类型的处理请求；调用预定义公共逻辑与自定义逻辑的活动处理模板；由规则调度器解析当前状态并调度原子化的工作规则实例；动态执行规则应答实例以确定下一步逻辑；通过站点变更功能处理节点切换。本发明通过模块化设计将公共逻辑与业务逻辑分离，利用事务隔离确保数据一致性，并支持动态规则注册与灵活流程编排，显著提升了业务研发效率、系统灵活性及处理复杂场景的能力。