圆筒磨削机及圆筒磨削方法

本发明公开了一种圆筒磨削机，无论晶棒的两端有无圆锥状的锥部及尾部，均能够支承晶棒，进一步地具有：能够自动判别锥部等的有无的判别器，以及针对纵向进给磨削中的、由一对支承单元夹持晶棒的夹持力以及由磨削单元产生的每一次的最大切削余量，根据锥部等的有无而分别登记设定值的控制器，由控制器自动选择磨削工艺配方，并能够基于该磨削工艺配方自动实施纵向进给磨削，磨削工艺配方具有由判别器自动判别的锥部等的有无所对应的夹持力和每一次的最大切削余量的设定值。由此，提供圆筒磨削机及圆筒磨削方法，在晶棒的纵向进给磨削中，高效、低成本，并且能够防止晶棒的位置偏移、断裂的发生，以稳定的品质进行磨削加工。