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形成磷硅酸盐玻璃层的方法及其结构和系统
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§ Ⅰ
개요
IPC 분류
C23C 16/30 (2006.01)H10P 14/60 (2026.01)H10P 14/692 (2026.01)H10P 72/00 (2026.01)C23C 16/44 (2006.01)C23C 16/455 (2006.01)
公开了用于形成磷硅酸盐玻璃层的方法。示例性方法包括形成覆盖衬底的含硅层，并沉积覆盖衬底的含磷层。沉积的含磷层可以包括PO和/或表现出小于或等于500℃的熔化温度。沉积的含磷层可被加热以流动并氧化以提供所需的特性。