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一种原位加载激光的透射电镜样品杆
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§ Ⅰ
개요
IPC 분류
H01J 37/20 (2006.01)H01J 37/26 (2006.01)G01N 23/04 (2018.01)
本发明公开了一种原位加载激光的透射电镜样品杆,由前端至后端依次包括:样品杆头,其为中空结构,前端的前方设有第一透镜,所述第一透镜的前方设有试样载网台;杆体,其为中空结构,所述杆体的前端与所述样品杆头的后端同轴连接,所述杆体的后端设有窗口片,并与所述杆体密封连接,所述窗口片的后端设有第二透镜,并与所述第一透镜形成双透镜组;五轴位移调整机构,其包括位移台底座、五轴位移台和遮光罩;以及Fc/Pc座,其设于所述五轴位移台上,所述Fc/Pc座用于连接激光源光纤;所述五轴位移台用于控制激光焦点在X/Y/Z方向位移及俯仰/水平倾角。本发明透射电镜样品杆,降低电镜成本,操作简单,支持0‑2200nm波段激光原位调控样品能量瞬态变化观测。