用于减少寄生等离子体的装置和具有其的衬底处理设备

在本公开的一个实施例中，一种用于减少寄生等离子体的装置包括：气体歧管；气体通道；以及绝缘体，其位于气体歧管和气体通道之间，以将气体通道与气体歧管电隔离，其中气体歧管是金属的并且接地以减少气体歧管内的寄生等离子体。