横向绝缘栅双极型晶体管及其制造方法

本发明涉及一种横向绝缘栅双极型晶体管及其制造方法，横向绝缘栅双极型晶体管包括：发射区；P阱，发射区位于P阱中；集电区；N阱，集电区位于N阱中；漂移区，至少部分漂移区位于N阱与P阱之间；隔离槽结构，分段设置且沿横向绝缘栅双极型晶体管的导电沟道长度方向延伸，隔离槽结构在漂移区设有供两侧的漂移区连通的开口，P阱分布在所述隔离槽结构的两侧，N阱分布在所述隔离槽结构的两侧，集电区位于隔离槽结构的其中一侧；第一N型掺杂区，位于隔离槽结构的另一侧，第一N型掺杂区与集电区短路连接；栅极，位于发射区和集电区之间的区域上方。本发明在缩短电流拖尾时间的同时能够抑制电压折回现象。