半导体器件

提供了一种半导体器件，所述半导体器件包括：第一有源图案，所述第一有源图案在第一方向上彼此间隔开；第一器件隔离层，所述第一器件隔离层在彼此相邻的所述第一有源图案之间；第一沟道图案，所述第一沟道图案位于所述第一有源图案上；以及切割图案，所述切割图案在所述第一沟道图案之间垂直地延伸。所述切割图案包括第一部分和位于所述第一部分上的第二部分。在所述第一部分与所述第二部分之间的边界处，所述第一部分的宽度大于所述第二部分的宽度。