基板保持装置以及基板贴合装置

本发明提供一种基板保持装置以及基板贴合装置。在第一方式中，提供一种基板保持装置。上述基板保持装置可以具备具有保持基板的保持面的保持板。上述基板保持装置可以具备多个致动器，该多个致动器与上述保持板连结，使上述保持板至少在上述保持面的法线方向上变形。上述基板保持装置可以具备支承上述多个致动器的底板。在上述基板保持装置中，上述保持面可以在上述多个致动器未动作的状态下具有预先确定的凹凸形状。