化学气相沉积产品固定位置缺陷簇的检测方法

本发明涉及一种化学气相沉积产品固定位置缺陷簇的检测方法，所属半导体晶圆检测技术领域，该方法包括：建立特定品名的统计过程控制（SPC）控制图，并设定相应的控制限；监测Cluster缺陷数据，当数据超出控制限产生OOC（失控）告警时锁定批次；捞取OOC批次中全部硅片的SPX检测Map图；对所述Map图进行叠图处理；根据叠图结果进行人工判定，若叠图后在同一位置发现Cluster缺陷点重合，则判定为固定位置Cluster缺陷并进行返工处理。通过SPC监控预警结合人工叠图确认，能够有效识别出未超数量规格但位于固定位置的Cluster缺陷，解决了现有技术仅依靠Cluster数量卡控导致的漏检及单纯收严规格导致的良品过杀问题，在不影响良率产出效率的前提下，准确拦截不良品流出。