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Dossier
感光性元件及其制造方法、抗蚀剂图案的制造方法以及导体图案的制造方法
InventionUnknown
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12Claims · 4 independent
§ Ⅰ
Dossier Overview
Inventor
桥本周; 向郁夫; 生田壮一; 宇须井厚生
Filing Date
Feb 7, 2025
Publication Date
Oct 16, 2026
IPC Classification
G03F 7/004 (2006.01)G03F 7/09 (2006.01)G03F 7/40 (2006.01)
一种感光性元件(10),其具备:支撑膜(12)、配置于支撑膜(12)上的感光性树脂膜(14)及配置于感光性树脂膜(14)上的保护膜(16),支撑膜(12)及保护膜(16)中的至少一者为与感光性树脂膜(14)相接的平均厚度为30μm以上的聚丙烯膜,感光性树脂膜(14)的平均厚度为80μm以上。
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