Back to Search
Dossier
EUV辐射产生方法
InventionUnknown
4views
16Claims · 11 independent
§ Ⅰ
Dossier Overview
Inventor
斯坦·约翰内斯·雅各布斯·德朗格; J·希尔; O·O·维尔索拉托; M·A·普维斯; D·J·W·布朗
Filing Date
Feb 28, 2025
Publication Date
Oct 16, 2026
IPC Classification
H05G 2/00 (2006.01)
一种产生极紫外（EUV）辐射的方法，包括将激光束的激光脉冲引导至锡目标上以产生EUV发射等离子体，其中所述激光脉冲具有至少150 ns的持续时间且具有在1.6微米与2.5微米之间的波长。
External Resources