一种三自由度的尺寸测量装置

一种三自由度的尺寸测量装置，属于工件尺寸检测技术领域。为解决传统的单维或点对点接触式检测不仅效率低下，且难以完整、准确地重构出复杂齿面的三维空间几何特征。本发明的测量探针用于接触工件表面，三个尺寸测量机构分别沿x轴、y轴和z轴方向布置，且分别测量工件在x轴、y轴和z轴方向上的尺寸误差；每个尺寸测量机构均包括线位移传感器和弹性膜片；输出杆的一端与测量探针连接，另一端与其中一个尺寸测量机构连接；当测量探针沿工件表面移动，输出杆受到x轴、y轴和/或z轴方向的力时，输出杆使相应方向布置的尺寸测量机构中的线位移传感器的测量杆与其外壳产生相对位移，以确定工件在相应方向上的尺寸误差。