一种MEMS继电器

本发明涉及微机电系统技术领域，尤其涉及一种MEMS继电器，包括：基板、门极、源极、漏极，在门极上设置第一、第二固定梳齿，在源极通过第一悬臂折叠梁设置第一可动梳齿，在漏极上通过第二悬臂折叠梁设置第二可动梳齿，且第一可动梳齿与一侧的第一固定梳齿、第二固定梳齿交错契合布置，第二可动梳齿在另一侧与第一固定梳齿、第二固定梳齿交错契合布置，第一可动梳齿背上设置第一触点，第二可动梳齿背上设置第二触点，对第一悬臂折叠梁的第一折叠次数和第二悬臂折叠梁的第二折叠次数进行设计，使得由驱动电压产生的静电力大于第一悬臂折叠梁的回复力和第二悬臂折叠梁的回复力，驱动第一、第二触点移动并接触，实现开关闭合，提高了MEMS继电器的可靠性。